両面スクラブ洗浄装置

  1. ウェハ表裏面、端面の同時ブラシ洗浄が可能
  2. ウェハサイズ変更に伴う段取り替えは5〜10分程度
  3. Wet in Dry out の量産対応装置

薬液スクラブ洗浄装置

  1. 強固な汚れを特殊ブラシで落とします。
  2. 酸、アルカリ洗浄が使用できます。
  3. 処理構成はご相談ください。
  4. C to C (カセットからカセットへ)に対応

1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置

  1. ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になっている1チャンバー型の装置です。
  2. ウエハ表裏面、端面同時ブラシ洗浄が行えます。
  3. 少量生産、研究開発用に適しています。

キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置

  1. 多関節ロボットを使用した高圧パルスジェット洗浄装置です。
  2. 段差のあるものや複雑な形状をしていている製品洗浄に向いています。
  3. 少流量洗浄なので排水等も含めエコな高圧パルスジェット洗浄装置です。

ビーズ・スペーサ散布装置 微粒子分散装置

  1. 0.1~80μmの粒子を散布、分散して撒く装置です。
  2. 配管内を走る粒子の摩擦帯電量をフィードバック制御して定量散布を行います。

ラインイオナイザー

ionizer
  1. 線状対面電極方式の静電気除去装置です。
  2. 環境の悪い場所で持続的に使用できます。
  3. イオンバランスが長時間安定しています。

デモ装置一覧

手動両面スクラブ洗浄装置

demo_cleaner

ワークサイズ:φ2”~φ8”

厚み:150μm~1.5mm t

端面、両面スクラブ洗浄

スピン乾燥

界面活性剤と簡易純水装置使用

(お持ち帰り評価でお願い致します)

高圧パルスジェット洗浄装置

水洗浄によるテスト

顕微鏡による目視評価

スペーサ散布装置

sprayer

ワークサイズ:200x200mm

散布と均一性テスト

粒子計測と顕微鏡確認

装置・デモについてのお問い合わせ

各種装置・デモについては下記のフォームよりお問い合わせください。