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洗浄装置

1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置

1ch

各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

装置概要

  • ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型
  • ウエハ表裏面と端面の同時ブラシ洗浄が可能
  • 少量生産、研究開発向け

用途例

  • 膜付け前洗浄
  • エピ後洗浄
  • エッチング
  • ポリッシュ後洗浄
  • 剥離洗浄