1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置

各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

装置概要

• ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型
• ウエハ表裏面と端面の同時ブラシ洗浄が可能
• 少量生産、研究開発向け

用途例

• 膜付け前洗浄
• エピ後洗浄
• エッチング
• ポリッシュ後洗浄
• 剥離洗浄