各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置
装置概要
- ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型
- ウエハ表裏面と端面の同時ブラシ洗浄が可能
- 少量生産、研究開発向け
用途例
- 膜付け前洗浄
- エピ後洗浄
- エッチング
- ポリッシュ後洗浄
- 剥離洗浄
Notice: Trying to access array offset on value of type bool in /home/kikaomot/technicalfit.com/public_html/wp-content/themes/jin/cta.php on line 8
Notice: Trying to access array offset on value of type bool in /home/kikaomot/technicalfit.com/public_html/wp-content/themes/jin/cta.php on line 9
