洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄する装置
装置概要
- 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）・ボックスの洗浄を行う装置
用途例
- カセット（キャリア）洗浄
- ボックス洗浄
- チップトレー洗浄
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