キャリア（カセット）・ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄する装置

装置概要

• 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）・ボックスの洗浄を行う装置

用途例

• カセット（キャリア）洗浄
• ボックス洗浄
• チップトレー洗浄