洗浄装置 高圧パルスジェット DP-Gun 2019年9月16日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 最大10MPaの高圧水を30Hzで断続的にスプレーする高圧断続スプレー 装置概要 既存の洗浄装置に追加可能な洗浄ノズルユニット 水の使用量が少ないため対象 …
洗浄装置 キャリア（カセット）・ボックス洗浄装置 2019年9月16日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄する装置 装置概要 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カ …
洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2019年9月15日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
洗浄装置 薬液スクラブ洗浄装置 2019年9月15日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 強固着物除去と金属汚染を除去 装置概要 ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置強固な汚れを特殊ブラシで落とします。 酸、アルカリ …
洗浄装置 両面スクラブ洗浄装置 2019年9月15日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット ウェハ表裏面、端面の同時ブラシ洗浄が可能 ウェハサイズ変更に伴う段取り替えは5〜10分程度 Wet in Dry out の量産対応装置 …
