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洗浄装置 Wet Cleaner
ウェハ・石英・ガラス・サファイア・Sic など各種素材に対応
高圧断続スプレー・ニ流体スプレー・各種ブラシ・ 超音波・薬液等を組合せ
研磨後の粗洗浄から精密洗浄など、各種洗浄工程に対応します。
研究開発用の低価格・コンパクトな手動装置から量産装置まで
目的とご予算に合わてご提案致します。
洗浄プロセスについてもご相談下さい。
散布装置 Spacer Sprayer
液晶パネルや調光ガラスのプロセスに対応した乾式スペーサ散布装置。
スペーサ以外の粒子や、1μ以下の粒子の散布などもご相談ください。
研究開発用の手動散布機から、G6以上の大型基板向けの全自動散布装置まで、周辺装置を含めて対応致します。
静電気除去装置 Line Ionizer
弊社のイオナイザーは独自の線状対面電極により、安定した除電性能を維持します。
構造及び出力の特性上、 異物の付着にも強いため、除電性能が低下しにくく
長期間に渡り、 切れ目の無い強力な除電を行います。
周波数、電圧等の出力調整が可能なため、環境に合わせた調整・運用が可能です。
高圧パルスジェット DP-GUN
フィードバック制御のポンプで圧縮した10MPaの高圧水を断続的にスプレーする高圧パルスジェット。
流量が少なくて済むため、対象物へダイレクトに繰り返し衝撃を加えます。
異物の除去、マスク（穴開き）洗浄、カセット等の立体物の洗浄にも優れた洗浄効果を発揮します。