洗浄装置 両面スクラブ洗浄装置 2019年9月15日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット ウェハ表裏面、端面の同時ブラシ洗浄が可能 ウェハサイズ変更に伴う段取り替えは5〜10分程度 Wet in Dry out の量産対応装置 …