洗浄装置 高圧パルスジェット DP-Gun 2019年9月16日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 最大10MPaの高圧水を30Hzで断続的にスプレーする高圧断続スプレー 装置概要 既存の洗浄装置に追加可能な洗浄ノズルユニット 水の使用量が少ないため対象 …
洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2019年9月15日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
散布装置 乾式スペーサ散布装置 2019年6月20日 technicalfit 液晶・半導体の洗浄・散布・除電・研磨・イオナイザーのテクニカルフィット 帯電量フィードバックによる散布量制御を行う乾式散布装置 固定式ノズルによりクラスターの発生を低減 チャンバーへの高電圧印加により分布性能とスペーサーの使用効率を …
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